W-SEAL 및 C-SEAL 소개

반도체 장비에 사용되는 통합 가스 시스템 (IGS)은 일반적으로 다이어프램 밸브, 체크 밸브, 레귤레이터, 필터, 압력 센서, 질량 흐름 컨트롤러 및 기판과 같은 구성 요소로 구성됩니다. 이러한 구성 요소는 일반적으로 표면 장착이며 W-Seal 또는 C-Seal을 사용하여 밀봉됩니다. 밀봉 유형의 선택은 시스템의 밀봉 성능을 결정하는 데 중요합니다. 이 기술 대화에서 우리는 W-Seal과 C-Seal의 유사점과 차이점에 대해 논의 할 것입니다.

W-SEAL과 C-SEAL의 유사성

W-SEAL 및 C-SEAL은 두 가지 유형의 금속 씰입니다. 고무 또는 복합재와 같은 비금속 씰과 달리 금속 씰은 압축으로 인해 시간이 지남에 따라 악화되지 않으며 화학적 호환성이 우수합니다. Ichor W-Seal Gaskets (IWG Series) 및 C-Seal Gaskets (ICG Series)는 Ichor Ultra High Pudority 공정 (FC-03)에 따라 316L 또는 316L VAR 스테인리스 스틸로 만들어집니다. 이 개스킷은 전기 폴란드되어 Ra ≤ 5 μin의 표면 거칠기에 도달합니다. 반 F19 UHP를 준수하는 (0.13 μm). 밀봉 성능이 우수한 씰링 페이스 누출 속도 (헬륨) ≤ 1 × ^10-9 STD CM ³ /s.

용접 씰 또는 금속 개스킷 페이스 씰과 비교할 때 W-Seal 및 C-Seal은 더 작고 가스 전달 시스템의 크기를 크게 줄일 수 있습니다. 제한된 흐름이 필요한 경우, 지정된 오리피스가 장착 된 개스킷을 밀봉 할 수 있습니다.

W-SEAL과 C-SEAL의 차이

W-Seal Gaskets (IWG Series)는 "플로팅"구조로 설계되어 밀봉면이 외부 힘을 수신하는 구성 요소와 무관하게 할 수 있습니다. 설치하는 동안 개스킷의 밀봉면은 표면 장착 구성 요소 (W-Seal 밸브 본체와 같은)에 대한 압축과 기판을 형성합니다. 각 W-SEAL은 시스템에 개별적으로 설치할 수 있으므로 시스템 레이아웃이 수정 될 때 쉽게 제거하고 다시 설치할 수 있습니다. 또한 Ichor Service Kit (모델 번호 : SC-IGS-11)는 가스켓의 고품질 설치를 보장하기 위해 W-Seal 개스킷 용 개스킷 트위터를 제공합니다.

C-Seal 개스킷 (ICG 시리즈)의 섹션은 양쪽에 두 개의 평평한 밀봉 보스가있는 문자 "C"와 유사합니다. 올바르게 조이면 개스킷의 상단과 하단은 표면 장착 구성 요소 (C-Seal 밸브 본체와 같은)와 기판의 강화 된 밀봉면에 부딪 히고 씰을 만듭니다. 또한, C-Seal 개스킷 브래킷은 한 번에 여러 개스킷을 찾는 데 도움이 될 수 있습니다.