반도체 산업을위한 ICHOR 금속 개스킷 페이스 씰 피팅

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금속 개스킷 페이스 씰 피팅은 왜 반도체 산업의 요구를 충족합니까?

반도체 산업은 더 작고 낮은 전력 소비 칩을 계속 추구하므로 프로세스 노드가 점점 작아 지므로 프로세스 청결에 대한 요구가 더 높아집니다. 표준의 청결은 제품 품질 결함으로 이어지거나 전체 제품 라인의 오염을 퍼뜨려 제품 스크랩의 심각한 결과를 초래할 수 있습니다.

반도체 산업에 사용되는 고순도 및 초 고순도 (UHP) 유체 시스템 에서 피팅 선택은 핵심 포인트 중 하나입니다. 용접 피팅은 종종 선택되지만 정기적 인 교체 또는 유지 보수가 필요한 연결에는 적합하지 않으며 O- 링 페이스 씰 피팅의 비금속 재료는 매체와 호환되지 않을 수 있습니다. 설치 및 분해가 쉽고 미디어와 호환되는 피팅 이 있습니까? 대답은 금속 개스킷 페이스 씰 피팅입니다. 금속 개스킷을 밀봉 요소로 사용하는이 피팅의 주요 장점은 다음과 같습니다.

• 금속-금속 하드 씰, 우수한 밀봉 성능 : 너트를 조일 때, 양쪽 끝에서 땀샘은 양방향에서 금속 개스킷을 짜낼 수 있으며, 글 랜드 씰링 표면의 경도는 금속 개스킷의 경도보다 높기 때문에 (ICHOR 316L 스테인레스 스틸 씰링 표면은 동일한 재료의 개스킷보다 109 hv 경색이 될 것입니다. 밀봉 성능을 보장하기 위해 땀샘과 금속 개스킷 사이에 단단한면 씰이 형성됩니다. Ichor 제품의 경우, 최대 헬륨 누출 속도는 은도금 316L 스테인레스 스틸, 은도금 니켈 및 구리 개스킷을 사용할 때 4x10 ^-9 STD CM ³ /S이며, 최대 헬륨 누출 속도는 316L 스테인리스 스틸 및 Nickel 전기 가스키를 사용할 때 4x10 ^-11 STD CM ³ /S입니다.

• 반복 조립 및 사용 : 압착 된 금속 개스킷은 땀샘의 밀봉 표면을 손상시키지 않으므로 시간당 하나의 개스킷 변경으로 단 하나의 개스킷 교환으로 반복적으로 재 조립되어 사용 비용이 낮아집니다 .
• 데드 존, 잔류 물 없음 및 제거 쉬운 : 금속 개스킷 페이스 씰 피팅의 구조를 통해 밀봉 요소가 가스에 의해 완전히 정제 될 수 있으므로 잔류 물로 인한 오염 위험이 제거됩니다 .
• 설치 및 분해가 쉽습니다 : 이러한 피팅은 기존 도구만으로 쉽게 설치하고 분해하여 설치 및 유지 보수의 효율성을 크게 향상시킬 수 있습니다.

Ichor EFR 시리즈 금속 개스킷 페이스 씰 피팅의 제품은 무엇입니까?

전형적인 금속 개스킷 페이스 씰 피팅 어셈블리는 땀샘, 개스킷, 암컷 견과류 및 수컷 너트로 구성됩니다. 이들 부품 외에도 Ichor EFR 시리즈 금속 개스킷 페이스 씰 피팅에는 바디, 플러그, 캡, 유량 제한자 잠금 장치 등이 포함됩니다.

그 중에서도 금속 개스킷은 각 분해 후 교체해야하며 현재 Ichor는 7 가지 종류의 금속 개스킷을 제공합니다.

1. 노출 된 개스킷 : 가장 일반적으로 사용되는 개스킷;

2. Gasket retainer 어셈블리 : 개스킷은 리테이너에 의해 땀샘의 밀봉 표면에 고정되어 있으므로 설치 방향으로 제한되지 않으며 개스킷은 완벽하게 중앙에 있습니다.

3. 사이드로드 리테이너 : 방사형 장착, 단단한 공간에 설치에 적합합니다.

4. Blind 개스킷 : 임시 플러그;

5. Snubber 개스킷 : 파이프 라인에서 압력 변동의 영향을 줄이기 위해 구멍의 금속 필터;

6. 잡기 개스킷 : 개스킷의 외부 링은 곤경에 처해 설치 후 땀샘을 사용하여 풀기를 방지합니다.

7. 재구성 개스킷 : 정확한 흐름 제어를 위해 설계되었습니다.

8. 루비 오리피스 제한 가스켓 : 고온 내성, 넓은 화학적 호환성 및 내마모성을위한 루비 오리피스.

Ichor 설치 지침에 따른 적절한 작동은 밀봉 성능을 보장하기 위해서는 필요합니다. 먼저 피팅의 밀봉 표면과 개스킷에 심각한 흠집 및 기타 결함이 있는지 확인하고 밀봉 표면이 양호한 상태인지 확인한 다음 글 랜드, 개스킷, 암컷 견과류 및 수컷 너트를 조립하고 손가락을 견과류를 조입니다. 렌치를 사용하여 남성 너트를 더 조이고 수컷 너트를 고정하고 스테인레스 스틸 및 니켈 개스킷의 경우 1/8 회전 (참고 : 개스킷의 경우 3/8 회전) 및 구리 개스킷의 경우 1/4 회전을 유지하십시오.

FR 시리즈 금속 개스킷 페이스 씰 피팅 설치 지침

ICHOR는 다이어프램 밸브, 벨로우즈 밀봉 밸브, 미터링 밸브, 압력 조절기, 사용 지점 패널, 전환 시스템 및 통합 가스 시스템과 같은 가스 제어 시스템을 포함하여 고순도 및 초 고순도 제품을 제공합니다. 설치 지침 및 교육 서비스도 제공됩니다. Ichor는 항상 전문 제품 및 전문 서비스를 통해 고객의 다양한 요구를 충족시키고 고객을위한 가치를 계속 만들기 위해 노력하고 있습니다.